电话：
021-31265669传真：
021-51861312
半导体行业由于生成工艺需要，存在多种特殊气体，砷烷、硅烷、硒化氢是否有泄露，影响人员生命健康，可借助德尔格气体检测仪进行检测。
半导体行业可以选择德尔格什么型号气体检测仪：
核心传感器：DrägerSensor XS EC Hydride（氢化物专用电化学传感器），一支传感器即可覆盖 AsH₃、SiH₄、H₂Se、PH₃、B₂H₆、GeH₄ 六种半导体氢化物。
同时存在多种氢化物泄漏风险（AsH₃/SiH₄/H₂Se/PH₃混存区域）选择德尔格X-AM8000
搭载 XXS PH₃氢化物传感器，同样兼容检测 AsH₃、SiH₄、H₂Se、PH₃等氢化物，0.02ppm 检出下限。
HCL/HF气体检测仪X-AM5100
半导体行业气体类型有哪些：
半导体特气主要分为掺杂气、成膜 CVD/ALD 气、刻蚀 / 腔清洗气、光刻光源稀有气体、载气 / 惰性气，很多属于自燃、剧毒、强腐蚀、强温室气体。
磷烷 PH₃（磷化氢），砷烷用于N 型掺杂，毒性强， B₂H₆ P 型硼掺杂，自燃剧毒。
CVD/ALD 成膜气体有CO,N₂O,NH₃等。
刻蚀溴化氢HBr，氯气Cl₂ HF、氯化氢 HCl：干法刻蚀、清洗
超高纯 H₂氢气、Ar 氩气、N₂氮气、O₂氧气、CO₂、D₂氘气
半导体行业特殊气体种类
半导体行业发展趋势：
多项气体与半导体相关标准被列入"修订"，均由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）归口，具体包括：
《电子工业用气体 硅烷》（GB/T 15909-2017）
《有毒与可燃性气体检测系统安全评价导则》（GB/T 26073-2010）
《电子工业用气体 硒化氢》（GB/T 26249-2010）
《气体中颗粒含量的测定 光散射法 第1部分：管道气体中颗粒含量的测定》（GB/T 26570.1-2011）
《特种气体储存期规范》（GB/T 26571-2011）
《半导体制造用气体处理指南》（GB/T 34971-2017）
《电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》（GB/T 34972-2017）
《LED行业用氨气处理指南》（GB/T 35315-2017）
《电子工业用二氯硅烷》（GB/T 38866-2020）、《电子工业用四氯化硅》（GB/T 38867-2020）
这意味未来 1—2 年内，电子特气的产品标准、气体中颗粒与金属杂质的检测方法标准、以及气体检测系统安全评价导则将集中换版。
| 检测原理 | 通用寿命 | 半导体特气场景实际 | 为什么短 |
|---|---|---|---|
| 电化学 EC | 2–3 年 | 12–24 个月 | 氢化物活性高，持续消耗电解液和电极催化活性 |
| 催化燃烧 LEL | 3–5 年 | 硅烷环境 可能<6 个月 | 硅烷在催化珠表面生成 SiO₂ 覆盖活性位点，不可逆中毒（几 ppm 就够） |
| 半导体 MOS | 3–5 年 | 0.5–3 年 | 温湿度敏感，漂移大 |
| 红外 / 激光 | 5–10 年 | 用不上 | 硅烷、氢化物没有可用红外特征吸收 |
| PID | 灯管 1–2 年 | 基本用不上 | 特气多为无机小分子 |
特气使用寿命较其他传感器会短一点，如果对于购买多台德尔格气体检测仪觉得贵了，或者想要短期检测使用，可以采取租赁模式。
上海京工作为德尔格特约经销商，不仅提供新仪器，也为半导体行业提供优质的气体检测仪租赁服务。
咨询电话