0.1~0.5μm ≤20000 个 /m³；0.5~1μm ≤4000 个 /m³；1~5μm ≤100 个 /m³。

检测水分（压力露点）

昆明雨季空气湿度大，重点管控；

精密电子要求：压力露点≤-40℃；封装≤-50℃

露点过高→管路生锈、电路板受潮氧化、点胶分层

氮气总含油量（油雾 + 油蒸汽）
限值≤0.1mg/m³；无尘车间≤0.01mg/m³

油污染会导致焊盘不上锡、元件绝缘失效、涂层针孔

气态杂质（按需检测）可选择压缩空气质量检测仪进行对氮气中油含量进行检测。