压缩空气CDA（Clean Dry Air）在半导体行业中具有极其重要的地位，在半导体制造过程中，微小的颗粒、水分或油分等污染物质都可能导致器件的损坏或制程的不稳定。CDA能够提供高度纯净、干燥的气体，从而保证了器件的可靠性和稳定性。

在半导体生产线上，CDA不仅用于清洗和冲洗设备，也用于保持生产环境的清洁。它可以防止粉尘、微粒和水分进入制程中，保证产品的质量。

器件的性能受到环境中的杂质和湿度的影响，因此CDA在半导体制程中是一个至关重要的环节。它保证了器件特性的可靠性和一致性。

在半导体制程中，许多工艺需要高温环境，同时也需要高纯度的气体来避免器件的氧化和腐蚀。CDA在这方面发挥了重要的作用。

CDA的高质量保证了生产过程的稳定性，降低了制程中的变异性，从而提高了制程的良率。

依据 ISO 8573 针对 CDA 中会影响制程良率的各项重要指标，提供安装后及使用期间定期检测之服务。

在进行压缩空气CDA中压缩气体管路(P-CDA)的质量检测时，通常需要关注以下项目：

压缩气体纯度：检测压缩气体中是否含有不纯物质，如水分、油分、固体颗粒等。

压缩气体压力：测量管路中的气体压力，确保它在制程中的要求范围内。

压缩气体流量：检测气体的流速和流量，以确保它满足制程的需求。

管路泄漏检测：查找和修复任何潜在的气体泄漏，以确保没有未经授权的气体流失。

管路材质和连接检查：检查管路的材质和连接部分，确保它们符合标准并不会导致污染或其他问题。

压缩气体干燥度检测：检测压缩气体中的湿度水平，因为高湿度可能会对制程产生不利影响。

管路清洁度：确保管路内部干净，没有沉积物或污垢，以防止污染。

安全性检查：确保管路系统的所有安全设备和阀门正常工作，以防止潜在的危险。

委托专业的压缩空气检测机构可以确保你的管路系统符合质量和安全测试项目：

油份含量(总碳氢化合物)分析
微粒子数分析 (0.1um ~10um )
水份及露点分析
微生物污染分析
CO / CO2 / NOx / SOx / H2S 含量分析