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洁净室检测中我们除了主要注意灰尘，微生物的还要防止什么呢？是的，被我们忽视的有毒气体，在危害我们身体的同时，也在危害我们洁净室，这些气体主要有：酸碱气体：SO2,NH3,HCL.HF等，有机物：VOC,DBP等。
这些有毒气体会对洁净室产生什么危害呢？
酸性气体：诱发硼污染（盐酸与PTFE反应）。
碱性气体：保护层显影不良。
VOC等：氧化膜老化。
化学物质又是如何产生的呢？
| 分类 | 化学物质 | 主要来源 |
| 酸性物质 | SO X 、 NOX 、 HCl、 H3PO4 、HF、 HNO 3 、 H 2 SO 4 | 大气、 生产中使用的化学品 |
| 碱性物质 | NH 3 、 NH 4 OH、 TMAH、TMA、 TEA、 HMDS、 CHA | 大气、 生产中使用的化学品、作业人员 |
| 凝缩性有机物 | 酞酸脂、 硅氧烷、芳香族碳水化合物、 脂肪族碳水化合物 | 大气、 生产中使用的化学品、可塑剂、 硅烷、 建材 |
| 掺杂性气体 | H3BO 3 、 BF3 、 H3PO4 、磷酸脂、 有机磷 | 大气（农药） 、 生产中使用的化学品、HEPA、 阻燃剂 |
客户可使用便携式有毒有害气体检测仪：德尔格气体检测仪X-am 5600或者华瑞PGM-6208，进行日常巡检。
VOC气体检测仪推荐使用华瑞PMG-7340，精度高，反应灵敏，操作简单，开机即用。
尺寸：25.5×7.6×6.4cm
重量：738g（带电池盒）
传感器： 10.6eV、9.8eV 或 11.7eV 紫外灯的光离子化检测器（PID）
电池： 可充电锂离子电池（嵌入式，可现场充电，4.2V/3300mAH）
碱性电池盒（需装 4 个 5 号电池）；仅限在安全区域使用
充电时间：不超过 8 小时可充满
电池工作时间：使用锂离子电池连续工作 16 小时 显示屏：大屏幕点阵 LCD 显示、带背景灯。
上海京工在洁净室检测上经验丰富，除了常规的尘埃粒子检测，获得广大药企，电子厂，上海本地化妆品厂的认可。现对常规空气的检测，对于洁净室中压缩空气中含油量含水量及有毒气体均可检测。
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